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星晓13红头文件 （第1页）

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方案可行意味着他们研发高阶光刻机的方向是对的！

不仅仅是解决了复杂的光源系统，更意味着他们可以组装出完整的高阶光刻机系统，包括仿真建模里，模拟出来的双工作台、反射镜等数据都可以应用！

但现在不是高兴的时候，仿真建模只是高阶光刻机制造的第一步，接下来的设备组装、研制才是关键。

光有设计图纸，没有适合的材料、顶级工匠和研发设备那也是白搭。

雷客“光源系统设备的研制需要专业顶级的工程师，蓝河科技恐怕人手不足。

后期组装也需要其他实验室的研究进度跟得上。”

闻言，杜颂的笑容僵住“还anj有资金和材料，光源系统设备材料不能用普通钢板，还anj有精度严格的反射镜怎么办？”

这些问题一早就想到，那时盛明安让他们专心anj攻克光源系统，以至于直到现在用到了才开始发愁。

林成建等人不由担忧，研发资金捉襟见肘，新材料倒是可以找华电科，就是不知道那些新材料是否符合标准。

就算新材料符合标准，精度至皮米的反射镜目前国内没人造得出来。

盛明安“陈惊g会解决这些问题。”

科研人员只需负责研发工作就行。

“好了，忙去吧。”

盛明安挥挥手，赶走身后一群人。

研发人员现在很兴奋，根本赶不走，围过来说“盛工，我再看一眼――这么复杂的光源系统真是我设计出来的？！”

、“我觉得自己真t是个天才！”

、“脸还在吗？”

……

众人叽叽喳喳凑到光屏前陶醉于光源系统的仿真建模，盛明安则悄悄退出，离开实验室，回到蓝河科技特意拨给他的办公室。

十几分钟过a喘着气跑进来，旋风似的冲到他桌前，两只手撑在红木桌，俯视盛明安，深呼吸“建模能用？”

盛明安抬眼，点头。

陈惊g笑了，移开目光，下一刻又移回来看盛明安“恭喜。”

盛明安“同喜？”

陈惊g轻声“我很高兴。”

盛明安“别高兴太早，接下来是光刻机设备研发阶段，新材料找华电科购买，至于高精度反射镜，我建议找春城光机所。”

春城光学精密机械所有一个项目就是研发高精度大口径碳化硅反射镜，以他们的技术，应该能制造出光刻机所需的光学反射镜。

“材料和设备可以找到途径，专业工程师不太容易找。

陈惊g你自己想办法anj解决――唔？”

陈惊g忽然伸手anj捏住了他的下巴，盛明安止住话头，疑惑的看过anj去。