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大白归来未来规划（第3页）

在靠近仓库门旁的几个人员，看了看自己的老总在无缘无故的对着自己的手机说话，就觉得很离谱，虽然不知道自己老总在嘟囔什么，但是总觉得老总神神叨叨的。

他们想了想自己的未来就觉得担忧。

几个走神的员工看见对面的陈越经理，瞬间吓得脸色发白，埋头干起了自己的事情。

陈越本来打算是想对着几位发火，怒斥的，但是又怕打扰到贺轩的工作，就决定只用眼神来攻击手下了。

陈越虽然不知道贺轩在干嘛，但是陈越是亲眼看见贺轩制造出来大白的，所以陈越对贺轩还是打心里面信任的。

贺轩也没有精力注意到这些琐事，还是自顾自的和零聊着。

“主人，是有的，而且这种技术人类也已经生产了，只是其中有大量的漏洞需要解决，而且在国内也很难拿到这种机器。”

零还是没有情感的说到。

“没事，零，我们不差钱，你要的这种东西我让人给你找到。

要什么我去买j就行了。”

贺轩自大的说到。

“主人，你买不起，而且这种技术也对国内有封锁。

你拿不到这么多电子束光刻。”

“嗯，我这么有钱，难道还是一个穷逼，这个叫电子束的东西到底是个啥？我不服，我不服，我这么有钱了还是一个穷逼。”

”

主人，不用怀疑你就是一个穷逼，而且要想让电子束光刻机能完美替代极紫外光刻机，必须想办法解决上述两个问题。

最好的办法就是照葫芦画瓢，既然普通光刻机可以用投影的办法进行光刻，电子束光刻机为什么不试试呢？于是，很多科学家开始给电子束光刻机设计掩膜版，让电子束光刻机也能实现投影光刻。

这项研究已经开始了20多年了，但依然没有正式投入使用。

主要的原因就是适用于电子束光刻机的掩膜版研制难度太大。

因为电子流跟常见的物体都有相互作用，不管是透射还是反射，实现起来都不容易。

虽然已经研究出了很多掩膜版，但是不管是使用效果、生产成本还是使用寿命，都难以满足低成本批量生产芯片的要求。

还有一种办法就是多管齐下，比如台积电设计了一种电子束光刻机，让几千束电子束同时进行光刻，大大提高了光刻效率，而且还不用设计昂贵的掩膜版。

但是这种设备生产成本会很高，而且效率依然比不上极紫外光刻机。

至于电子散射问题，就得从光刻胶上下功夫了，现在有很多解决方案。

比如漂亮国麻省理工学院研发了新型的光刻胶，可以更薄的涂在晶圆上，减少散射的影响。

“

”

嗯，既然有解决方法，有人去试验过吗？我们难道不可以综合一下这几种方法，去优化吗？“贺轩悻悻的问道

”

这倒是有，2014年荷兰Mapper公司与俄RUSNANO公司合资在莫斯科组建一家生产无掩膜光刻机核心组件微机电光学元件的工厂。

该工厂生产的电子光学元件可以将一束电子束分成13000束电子束，并对每束电子束进行控制，从而极大提高了无掩膜电子束光刻机的生产效率，使这类光刻机用于设计阶段样品制造外，更加适应小批量生产的需求。

如果我们采用这种办法的话，首先我们的钱不够，其次我们以后肯定不是局限于小批量的生产。

所以主人，我建议等机械手臂研发出来了，我们再进行下一步的打算。”

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